磁控溅射仪 型号HC-PVD-150M

产品介绍:HC-PVD-150M 磁控溅射仪,以高端精密镀膜技术为核心,凭借严苛的腔体设计与高性能配置,为各类精密镀膜需求提供稳定、高效、均匀的解决方案,彰显高端设备的专业品质与技术实力。

设备腔体采用304不锈钢精密打造,搭配高品质氟橡胶密封圈,密封性能卓越,可有效保障腔体真空环境的稳定性与洁净度,杜绝杂质干扰镀膜工艺。腔体配备专业观察窗与手动开合防护挡板,操作便捷且安全,可实时观察镀膜全过程;顶板配置样品托盘法兰盘,底板预留多种适配源法兰盘,适配性极强,可灵活满足不同样品与镀膜工艺的安装需求。设备标配4套6英寸磁控靶枪,性能稳定可靠,可高效完成多种材质、多种类型的镀膜作业,兼顾镀膜效率与镀膜精度。

 

产品应用:设备广泛适配各类高端镀膜场景,可精准完成金属电极(Al/Cu/Ti/Au)、阻挡层(TaN/TiN)、透明导电膜(ITO/AZO)、压电薄膜(AlN)等多种薄膜的沉积作业,适配半导体、新能源、新材料、科研实验等多领域高端镀膜需求,为精密制造与科研创新提供强有力的技术支撑

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镀膜设备

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